2732546

УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ КОМПЛЕКСОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИ

Заявка: 2019145134, 30.12.2019

МКПО:

C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) G06F 17/00 (2006.01)
105005, Москва , ул. 2-я Бауманская, 5, стр. 1, МГТУ им. Н.Э. Баумана, ЦИС, для Шупенёва (каф. МТ-12)

Изобретение о относится к устройству контроля и управления комплексом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Устройство содержит блок управления импульсным лазером, блок контроля параметров лазера, блок контроля температуры, блок управления температурой на подложке, блок контроля давления в камере осаждения, блок управления давлением в камере осаждения, блок контроля расстояния между подложкой и мишенью, блок управления расстоянием между подложкой и мишенью с соответствующими связями между собой и с комплексом ИЛО и блок предварительного имитационного моделирования процесса ИЛО кинетическим методом Монте-Карло с описанием движения и столкновений с поверхностью каждого отдельно взятого атома из потока осаждаемого вещества применительно к конкретной задаче, с возможностью проведения моделирования таких этапов процесса ИЛО, как поглощение излучения материалом мишени, образование и разлет газо-плазменного облака продуктов абляции, взаимодействие продуктов лазерной абляции с поверхностью подложки, формирование и рост пленки покрытия, с возможностью внесения настроек характеристик и свойств покрытия. Технический результат заключается в расширении функциональных возможностей с обеспечением максимальных характеристик и свойств получаемых покрытий, таких как: увеличение износостойкости поверхностей, повышение сплошности покрытия; получение однородного покрытия по всей поверхности и тем самым создание условий для ламинарного движения жидкости по полученному покрытию поверхности защищаемого изделия.