188489

Оптическая схема прецизионного интерференционного угломера

Заявка: 2018147199, 28.12.2018

МКПО:

G01B 9/02 (2006.01) G03H 1/04 (2006.01)
105005, Москва , ул. 2-я Бауманская, 5, стр. 1, МГТУ им. Н.Э. Баумана, ЦЗИС, для Одинокова С.Б., НИИРЛ, каф. РЛ-2

Полезная модель относится к измерительной технике и может применяться для точного бесконтактного контроля изменений угловых положений зеркал в лабораторных и производственных условиях оптического приборостроения. Оптическая схема прецизионного интерференционного угломера, состоящая из осветителя в составе когерентного источника света, микродиафрагмы и объектива, формирующего сходящийся пучок световых лучей; диэлектрического зеркала в качестве светоделителя; приемника излучения для регистрации интерферограмм; пространственного модулятора света (ПМС), на который выведены компьютерно-синтезированные голограммы (КСГ) с возможностью не только разделять волновой фронт, но и корригировать аберрации источника волнового фронта. Оптическая ось осветителя перпендикулярна оптической оси, на которой последовательно расположены указанные приемник излучения, диэлектрическое зеркало (светоделитель), ПМС и неподвижный центр угловых перемещений на отражающей поверхности исследуемого оптического элемента с возможностью отражения падающих световых пучков угломера. Светоделитель расположен на стыке пересечения указанных оптических осей под углом 45 градусов между ними.  Технический результат – измерение величин угловых перемещений контролируемого оптического объекта (зеркала) предлагаемой оптической схемой с малой погрешностью порядка 10 мкрад (±0,3 угл. сек.).